Temat aplikacji
W procesie wytwarzania chipów powszechnie stosowany jest proces suchego grafowania, w którym płytka krzemowa jest umieszczana jako elektroda dodatnia na dnie komory grafowania.Płytka dystrybucyjna gazu z gęstymi małymi otworami przepustowymiPo zastosowaniu odpowiedniego napięcia i wprowadzeniu kwasowego gazu do grafowania plazmy,mikrofabrykacja wykonywana jest na płytce krzemowej wewnątrz komory wysokotemperaturowej zgodnie z wzorami obwodu określonymi litografią, tak aby wygrawerować powierzchnię płytki do zaprojektowanej szerokości i głębokości linii i tworzyć mikro-obwody zintegrowane.
Podczas wytwarzania płytki krzemowej plazma zużywa również obie elektrody.Elektrody podlegają stopniowej korozji fizycznej i chemicznej z powodu gazu etsującegoPo zużyciu do pewnego poziomu elektrody muszą zostać wymienione, aby zagwarantować jednolite grafowanie. The evenly‑distributed holes on the upper electrode (shower head / gas distribution plate) will deviate in dimension due to etching‑gas corrosion and need replacement when tolerance limits are exceeded.

Analiza rozwiązania
🔹 Badania na monokrystalicznym krzemu do obróbki mikrowierci PCD o średnicy φ0,45 mm wykazują minimalne szczuplenie krawędzi otworu.dokładność wymiarowa w zakresie ±00,003 mm, a chropowitość powierzchni ≤Ra0,2 μm, spełniając wymagania klienta.
🔹 W badaniach wstępnych wiertarka wykazuje lekkie zużycie krawędzi po obróbce 3500 otworów i pozostaje użyteczna.
🔹 Mikrowierce Worldia PCD podzielone są na cztery serii (WZ1, WZ2, WZ3 i WZ-X) w zależności od przetworzonych materiałów i scenariuszy zastosowań, z zakresem średnicy φ0,1-φ1,0 mm.Wiertła PCD stałe mają samocentryzacyjną konstrukcję, obsługujący maksymalny stosunek głębokości do średnicy do 57:1.Fluty z płytkami są wytwarzane poprzez szlifowanie zintegrowane w celu płynnego usuwania płytek.Wiersz wiertniczy PCD zapewnia doskonałą odporność na zużycieProdukty spełniają wymagania związane z obróbką mikro-dziur dla krzemu jednokrystalicznego, krzemu polikrystalowego, SiC, ceramiki,Wyroby z tworzyw sztucznych, z tworzyw sztucznych.

Źródło danych: Raport z badań narzędzi wydziału technologii narzędzi precyzyjnych Beijing Worldia Diamond Tools CO., Ltd.

Więcej informacji można uzyskać pod adresem:

📌www.worldia-tools.com

¢ Albo przesyłać zapytania na adres: info@worldia-tools.com